ЛІТОГРАФІЯ

Важливе місце в планарной технології займають операції літографії, призначені для отримання топології ІМ С, тобто зображення елементів, їх розміщення і виготовлення електричних з'єднань між елементами на заключній стадії.

Формування топології здійснюється або за допомогою масок, або безпосередньо променем на поверхні захисної плівки - резисту. Головна роль в процесах літографії належить операції експонування, оскільки саме вона створює малюнок на плівці резисту який потім хімічними або вакуумно-плазмовими методами переноситься на пластину. Характеристики різних способів експонування наведені в табл. 1.3.

Таблиця 13

Характеристики різних способів експонування

спосіб експонування

довжина

хвилі,

нм

пре

ділове

разре

шення,

мкм

досягнутий рівень

разре

шення,

мкм

розмір

поля,

см 2

час експонування, з

модуль

плас

твань

Контактна

фотодрук

310

0,3

0,5

90

-

5

проекційна

фотодрук:

з мультиплікацією в видимому світлі

436

0,6

1,0

1

1

в ультрафіолетовому випромінюванні

20-200

0,25

0,6

1

1

електронно-променевого:

векторне

сканування

-

0,1

0,3

0,04

-

4 10 3

растровое

сканування

0,02-0,5

0,5

1,0

0,05

-

103

зміна

-

0,2

0,4

0,04

-

300

форми променя

проекціон-

-

0,5

1,0

80

-

50

ве сканування 1 х 1

проекційне сканування зі зменшенням

0,1

0,4

0,3

500

Закінчення табл. 13

спосіб експонування

довжина

хвилі,

нм

пре

ділове

разре

шення,

мкм

досягнутий рівень

разре

шення,

мкм

розмір

поля,

см 2

час експонування, з

модуль

плас

твань

рентгенівський:

точковий ис

про

  • 00
  • 1
  • 4 * год
  • 4 * год

0,3

1,0

80

-

200

цом

плазмовий

0,8

0,3

1,0

0,1

-

200

джерело

синхронне

випромінювання

0,1-10

0,1

0,3

10

1,0

-

Іонно-променевої:

растровое

сканування

про '

про

про

0,05

0,5

0,01

0,1

проекційне сканування зі зменшенням

0,05-0,1

0,05

1.0

1,0

1,5

Вибір способу експонування визначається роздільною здатністю і економічними показниками - продуктивністю і вартістю технологічного обладнання.

Структура процесів різних методів літографії подібна, тому зупинимося докладніше на особливостях технології фотолітографії.

 
Переглянути оригінал
< Попер   ЗМІСТ   ОРИГІНАЛ   Наст >